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最近,日本松下电子工业公司宣告了他们开发成功的一台用于生产16MDRAM的KrF准分子激光片子步进机。这台机器被用于制作采用单层抗......
日立和德克萨斯仪器公司共同开发出64MDRAM。在工艺中采用了0.35μmCOMS技术,芯片面积为228mm2。通过确立以使用i线步进机为前提的微......