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以表面改性气相法二氧化硅填充改性高温硫化乙烯基聚二甲基硅氧烷（PDMS）,得到硅橡胶复合材料，撕裂强度大于12 kN/mm,邵A硬度在48～56之间，体积电阻率≥1015Ω·cm,电击穿强度≥20 kV/mm。通过相互作用参数测定，扫描电镜研究了纳米二氧化硅与PDMS的相容性，并提出改性二氧化硅与PDMS链的相互作用机理。