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期刊论文
电泳沉积法制备三氧化钨薄膜
电泳沉积法制备三氧化钨薄膜
来源 :安徽工业大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ustcer08005
【摘 要】
:
研究了由WO3溶胶采用电泳沉积法制备WO3薄膜,讨论了电流密度、溶胶陈化时间、溶胶浓度、溶胶pH值对制备WO3薄膜厚度的影响;及膜厚与沉积时的电流密度对薄膜与基底结合力的影响
【作 者】
:
龙志峰
张国栋
【机 构】
:
安徽工业大学化学与化工学院
【出 处】
:
安徽工业大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
WO3薄膜
溶胶
电泳沉积
WO3 thin film
sol
electrophoretic deposition
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研究了由WO3溶胶采用电泳沉积法制备WO3薄膜,讨论了电流密度、溶胶陈化时间、溶胶浓度、溶胶pH值对制备WO3薄膜厚度的影响;及膜厚与沉积时的电流密度对薄膜与基底结合力的影响。通过TGA—DTA和IR分析探讨了固体薄膜在热处理过程中的结构变化。
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