三维形貌测量及功能评定技术研究现状

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根据检测技术原理的不同,对三维形貌测量技术进行归类、分析和比较,列举各技术的应用情况。此外,分别从基准面的表征、图像表征、参数表征等几个方面,对目前三维形貌的表征方法进行综述,并分析和比较各种方法的特点及国内外相关研究。最后,提出三维形貌测量和表征的一些不足。 According to the different detection principle, the three-dimensional topography measurement techniques are classified, analyzed and compared, and the application of each technique is listed. In addition, the methods of characterization of the three-dimensional topography are reviewed respectively from the aspects of datum surface characterization, image characterization and parameter characterization. The characteristics of each method and the related research at home and abroad are also analyzed and compared. Finally, some shortages of three-dimensional topography measurement and characterization are proposed.
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