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介绍了Lucovsky方程及稳态情况下PSD的位置测量公式。以两面型PSD为例,给出了在极短脉冲光照下,基于PSD稳态公式的测量效果位置网格图。针对存在的误差较大问题,提出了一种积分测量方法,并给出了极短脉冲光照下,基于积分检测法的位置网格图。从图中可以看到,采用积分方法进行PSD位置测量具有很高的精度。