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MEMS可变电容的研究现状及进展

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：candry

【作 者】

：

李玲玉 童富 杨月寒 赵建明 刘海文< a title=&q 

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2008年05期

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