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DY2001A型电子束曝光机是作为实用化的小型曝光系统而研制的.从设计角度详细阐述了DY2001A型电子束曝光机软件系统的构成,包括数据转换、对准校正套刻、硬件系统控制、曝光控制及数据建立和管理.
DY2001A型电子束曝光机软件系统设计
【摘 要】
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DY2001A型电子束曝光机是作为实用化的小型曝光系统而研制的.从设计角度详细阐述了DY2001A型电子束曝光机软件系统的构成,包括数据转换、对准校正套刻、硬件系统控制、曝光控
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
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2003年3期
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