【摘 要】
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为改善热电式MEMS微波功率传感器的电-热-电转换效率,提出了一种新型介质嵌层结构.选用Si3N4、新型材料石墨烯分别作为介质嵌层.建立介质嵌层结构的热学模型,采用Ansys软件对
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院,南京,210046
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为改善热电式MEMS微波功率传感器的电-热-电转换效率,提出了一种新型介质嵌层结构.选用Si3N4、新型材料石墨烯分别作为介质嵌层.建立介质嵌层结构的热学模型,采用Ansys软件对热学特性进行了仿真.结果 表明,当石墨烯作为介质嵌层时,热电偶热端的温度提高了12 K,有效改善了传热效率,提高了热电堆温差.建立介质嵌层结构的电磁模型,采用Hfss软件对微波性能进行了仿真.结果 表明,在8～12 GHz范围内,S参数约为-18 dB,传感器仍具有良好的匹配特性.该介质嵌层结构对热电式MEMS微波功率传感器研究有参考价值.
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