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期刊论文
TDI—CCD多路传输器的研制
TDI—CCD多路传输器的研制
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cqssq
【摘 要】
:
阐述了TDI-CCD多路传僵器的结构,工作原理,性能水平和制作工艺。
【作 者】
:
程开富
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
TDI-CCD
多路传感器
多晶硅交迭栅
埋沟
IRFPA
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阐述了TDI-CCD多路传僵器的结构,工作原理,性能水平和制作工艺。
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