超微细加工及设备

来源 :中国光学与应用光学文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangjunshisb

【摘要】

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TN305.7 97042750光电式动态光栅精密圆刻机=A precision photoelectricdynamic engraving machine for circularapparatus[刊,中]/张国范(中国航空精密机械所.北京(100076))

【出处】

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中国光学与应用光学文摘

【发表日期】

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1997年4期

【关键词】

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同步辐射装置技术研究光刻设备集成电路生产光刻技术应用前景电子中心激光直接光刻超微细加工微细加工技术

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TN305.7 97042750光电式动态光栅精密圆刻机=A precision photoelectricdynamic engraving machine for circularapparatus[刊,中]/张国范(中国航空精密机械所.北京(100076))//航空精密制造技术.—1996,32(6).—1-6介绍了一种刻划精度达±0.06″,采用圆光栅作角分度基准器,空气静压双半球轴系作主轴,由电机直接

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