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期刊论文
XPS表征类金刚石膜探讨
XPS表征类金刚石膜探讨
来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daocaoren666666
【摘 要】
:
介绍X射线光电子能谱(XPS)分析类金刚石(DLC)膜的原理与方法,探讨分峰拟合计算时参量设定对分析结果的影响,改进拟合方法,拟合结果更准确,结果的一致性好.
【作 者】
:
覃礼钊
张旭
吴正龙
【机 构】
:
北京师范大学分析测试中心,北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
:
现代仪器
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
类金刚石
sp^3组分
sp^2组分XPS
Diamond-like carbon film sp^3 component sp^2 component XPS
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介绍X射线光电子能谱(XPS)分析类金刚石(DLC)膜的原理与方法,探讨分峰拟合计算时参量设定对分析结果的影响,改进拟合方法,拟合结果更准确,结果的一致性好.
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