制备45°双外延超导结的新工艺

来源 :第八届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kim5618

【摘要】

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我们使用脉冲激光沉积方法对YBa2Cu3O7-d(YBCO)薄膜在MgO基片上通过CeO2/YSZ双缓冲层的生长进行了系统的研究,发现MgO单晶基片的表面质量是决定能否得到理想外延薄膜质量的关

【作者】

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李壮志王福仁孟树超马平聂瑞娟戴远东

【机构】

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北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

【出处】

：

第八届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

【发表日期】

：

2004年8期

【关键词】

：

YBCO薄膜双外延超导结低能离子束

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我们使用脉冲激光沉积方法对YBa2Cu3O7-d(YBCO)薄膜在MgO基片上通过CeO2/YSZ双缓冲层的生长进行了系统的研究,发现MgO单晶基片的表面质量是决定能否得到理想外延薄膜质量的关键因素,通过使用低能离子束对MgO表面进行轰击,以增加其表面粗糙度和去除变质层,得到了具有100％面内45°旋转的YBCO外延膜,其临界电流密度77K时在106A/cm2量级.通过湿法刻蚀得到的双外延Josephson结表现出RSJ特性.

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