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简要评述包括低损耗的电光波导器件、红外波导探测器、二氧化硅光波回路等硅基光波导的结构、工艺及其器件。
硅基光波导结构与器件
【摘 要】
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简要评述包括低损耗的电光波导器件、红外波导探测器、二氧化硅光波回路等硅基光波导的结构、工艺及其器件。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,深圳市华为技术有限公司
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1996年1期
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