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研究了热处理对电子束蒸发法制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响。利用X射线衍射仪和原子力显微镜，检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌。实验结果显示：沉积态TiO2薄膜为非晶态；低温（400℃以下）退火TiO2薄膜开始向锐钛矿相转变；高温退火（850℃以下）TiO2薄膜由锐钛矿向金红石相转变。