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微机械光学进展
微机械光学进展
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiang5656
【摘 要】
:
本文介绍了微机械光学的基本概念及其出现的内在原因,讨论了其发展方向,列举了几个典型的研究实例来说明微机械光学的意义,最后就我国微机械光学的发展提出了一些见解。
【作 者】
:
王跃林
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1995年S1期
【关键词】
:
微机械技术
干涉仪
斩光器
机械运动
光学平台
微光学元件
压力的传感器
硅微机械
微透镜
光波导
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本文介绍了微机械光学的基本概念及其出现的内在原因,讨论了其发展方向,列举了几个典型的研究实例来说明微机械光学的意义,最后就我国微机械光学的发展提出了一些见解。
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