【摘 要】
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探讨了Cu化学机械抛光(CMP)工艺引起Cu互连器件失效的原因以及对可靠性的影响,对Cu CMP工艺缺陷导致器件失效的案例进行分析。由于CMP的技术特点,不可避免地会产生一些工艺缺
【机 构】
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华南理工大学电子与信息学院微电子研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室工业和信息化部电子第五研究所,
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探讨了Cu化学机械抛光(CMP)工艺引起Cu互连器件失效的原因以及对可靠性的影响,对Cu CMP工艺缺陷导致器件失效的案例进行分析。由于CMP的技术特点,不可避免地会产生一些工艺缺陷和工艺误差,从而引起器件失效。必须根据标准要求,出厂或封装前对圆片进行芯片功能参数测试和严格的镜检,以便在封装前剔除存在潜在工艺缺陷的芯片,达到既定可靠性要求。
The causes of failure of Cu interconnection devices caused by Cu chemical mechanical polishing (CMP) process and their effects on reliability are discussed. The cases of device failure caused by Cu CMP process defects are analyzed. Due to the technical characteristics of CMP, some process defects and process errors will inevitably occur, causing the device to fail. Must according to the standard requirements, the chip before shipment or packaging chip functional parameters of the test and strict inspection in order to remove the chip before the existence of potential process defects to meet the established reliability requirements.
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