【摘 要】
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针对非球面光学元件的结构特点及其表面质量要求，在磁性混合流体抛光基础上，设计并制作以径向充磁永磁体为旋转磁场源的半球头抛光头。首先，通过Ansoft Maxwell磁场仿真，分析对比不同形状、不同尺寸磁体和偏心距下各磁体周围磁场的分布状况，选定直径为10.0 mm、高度为5.0 mm、偏心距为2.5 mm、径向充磁的圆柱形磁体。其次，通过观测并比较不同组成、配方和供应量的磁性混合流体在抛光头上的行
【机 构】
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武汉理工大学现代汽车零部件技术湖北省重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（51805394,61503290）；
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针对非球面光学元件的结构特点及其表面质量要求，在磁性混合流体抛光基础上，设计并制作以径向充磁永磁体为旋转磁场源的半球头抛光头。首先，通过Ansoft Maxwell磁场仿真，分析对比不同形状、不同尺寸磁体和偏心距下各磁体周围磁场的分布状况，选定直径为10.0 mm、高度为5.0 mm、偏心距为2.5 mm、径向充磁的圆柱形磁体。其次，通过观测并比较不同组成、配方和供应量的磁性混合流体在抛光头上的行为，确定磁性混合流体抛光液成分。最后，采用制备的磁性混合流体抛光液及自制的抛光头对非球面PMMA工件进行抛光试验。经过15 min抛光后，PMMA工件表面质量明显改善，其面型精度Rq由0.703μm下降到2.433 nm，表面粗糙度Ra由0.545μm下降到1.786 nm，说明研制的抛光头能实现非球面工件的纳米级抛光。
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