【摘 要】
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氮化钛薄膜由于具有许多有用的特性而受到人们日益广泛的注意。许多不同方法都曾用来生长氮化钛薄膜,其中包括化学气相淀积、活化反应蒸发、反应磁控溅射、空心阴极放电、离
【机 构】
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氮化钛薄膜由于具有许多有用的特性而受到人们日益广泛的注意。许多不同方法都曾用来生长氮化钛薄膜,其中包括化学气相淀积、活化反应蒸发、反应磁控溅射、空心阴极放电、离子镀等。溅射淀积得到的氮化钛薄膜具有较低的电阻、较细的晶粒微结
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