Enhancement of the orientation and adhesion of Al films on LiNbO3 with Ni underlayer

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wwp8133

【摘要】

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Al/Ni films were deposited on 128° Y-X LiNbO3 substrates by e-beam deposition. The influence of Ni underlayer on the microstructure, adhesion and resistivi

【作者】

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LI Dongmei PAN Feng NIU Jiebin

【机构】

：

LaboratoryofAdvancedMaterials,InstituteofChemistryandChemicalEngineeringofXinjiangUniversity,Institu

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

铝/镍薄膜 LINBO3 Ni衬里锂铌金属材料电子束蒸发微观结构表面消声 metal materials Al/Ni films electron-

【基金项目】

：

National High-technology Project of China，中国科学院资助项目，Key Grant of Chinese Ministry of Education

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Al/Ni films were deposited on 128° Y-X LiNbO3 substrates by e-beam deposition. The influence of Ni underlayer on the microstructure, adhesion and resistivity of the Al/Ni films was investigated. It was found that Al films deposited on Ni underlayer t

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