【摘 要】
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扫描透射X射线显微术(STXM)是近年发展起来的基于第三代同步辐射光源的新型谱学显微技术。上海光源已在覆盖大多数重要元素吸收边的250~2000 eV光子能量段实现了STXM技术。基于上海光源STXM实验站装置模拟了一种新的成像方法：在充分利用原有装置基础上发展扫描相干衍射成像技术，不但可以有效提升实验站的空间分辨能力，而且实现起来也相对简单。针对上海光源软X射线实验站特点，讨论了实现扫描相干衍射成像的相干性条件，实验站各因素对成像分辨率的影响等，并针对具体的实验条件进行了模拟分析。模拟显示，通过发展该项
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所,上海201204
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扫描透射X射线显微术(STXM)是近年发展起来的基于第三代同步辐射光源的新型谱学显微技术。上海光源已在覆盖大多数重要元素吸收边的250~2000 eV光子能量段实现了STXM技术。基于上海光源STXM实验站装置模拟了一种新的成像方法：在充分利用原有装置基础上发展扫描相干衍射成像技术，不但可以有效提升实验站的空间分辨能力，而且实现起来也相对简单。针对上海光源软X射线实验站特点，讨论了实现扫描相干衍射成像的相干性条件，实验站各因素对成像分辨率的影响等，并针对具体的实验条件进行了模拟分析。模拟显示，通过发展该项技术可有效提高特定样品的空间分辨能力。
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