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在LTCC基板加工中，生瓷预烘干、图形印刷后烘干可能会产生形变。为满足产品平整度及加工位置精度要求，本文介绍了LTCC基板制造过程中烘干的工艺方法，并通过工艺试验对当前所用两种烘干设备的各工艺参数进行比较，有效改进了烘干后生瓷表面质量。同时，我们结合不同产品要求和生产规格，对PH-101型烘箱和MSH公司烘干机加工特点进行了分析，阐述了两种烘干方法加工特点和工艺优化过程。