金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)用的挥发性镓源的合成

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yiyu

【摘要】

：

综述了金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)用的挥发性镓源的合成和提纯方法。并作了简单的评价。 The synthesis and purification methods of volatile gallium source for met

【作者】

：

夏立生

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

1983年02期

【关键词】

：

MOCVD 金属有机物汽相外延工艺异质外延半导体器件半导体薄膜半导体材料工艺途径源材料

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综述了金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)用的挥发性镓源的合成和提纯方法。并作了简单的评价。 The synthesis and purification methods of volatile gallium source for metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) are reviewed. And made a simple evaluation.

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