【摘 要】
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表面分析技术作为半导体器件研发和生产阶段十分关键的部分,对减少研发周期、增强成品率等方面发挥至关重要的作用。科学合理应用表面分析技术,还可以有效节约生产所需成本。
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表面分析技术作为半导体器件研发和生产阶段十分关键的部分,对减少研发周期、增强成品率等方面发挥至关重要的作用。科学合理应用表面分析技术,还可以有效节约生产所需成本。表面分析技术同其他分析测量相比,主要区别在于前者分析的时原因,后者分析的则是结果。鉴于此,对表面分析技术在半导体材料中的应用进行分析研究。
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