【摘 要】
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设计了一种基于微杠杆原理的推挽式高精度、高灵敏度的硅微谐振加速度传感器.采用微杠杆放大结构,并通过单连接梁推挽谐振器实现力放大和差分输出,具有结构对称,尺寸易于加工的特点.通过设计结构、优化尺寸,并进行模态分析、静力分析和谐响应分析来完成整个结构的设计与仿真研究.结果表明:加速度计工作谐振频率分别为21.708 kHz和21.715 kHz.在±5 gn的设计量程内对结构进行了灵敏度分析.仿真结果表示,其敏感轴的灵敏度为280 Hz/gn,非敏感轴的横向灵敏度为0.4 Hz/gn和0.1 Hz/gn.最后
【机 构】
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中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,山西太原030051
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设计了一种基于微杠杆原理的推挽式高精度、高灵敏度的硅微谐振加速度传感器.采用微杠杆放大结构,并通过单连接梁推挽谐振器实现力放大和差分输出,具有结构对称,尺寸易于加工的特点.通过设计结构、优化尺寸,并进行模态分析、静力分析和谐响应分析来完成整个结构的设计与仿真研究.结果表明:加速度计工作谐振频率分别为21.708 kHz和21.715 kHz.在±5 gn的设计量程内对结构进行了灵敏度分析.仿真结果表示,其敏感轴的灵敏度为280 Hz/gn,非敏感轴的横向灵敏度为0.4 Hz/gn和0.1 Hz/gn.最后搭建自激振荡的闭环驱动模型,验证了结构在闭环系统下的可行性.
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