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期刊论文
液晶微棱镜阵列工艺结构研究
液晶微棱镜阵列工艺结构研究
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jayxiandan001
【摘 要】
:
本文对液晶微棱镜阵列的设计与工艺的基本问题进行了讨论.针对TFT的优势,试制了激光晶化底栅结构的poly-Si TFT为构造核心的液晶微棱镜,对其工艺结构和液晶的光学性能进行了
【作 者】
:
张洪涛
徐重阳
王长安
【机 构】
:
华中科技大学,华中科技大学
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
液晶
微棱镜
阵列
光通信
器件
liquid crystal
microlens array
light communication
device
【基金项目】
:
国防预研基金,湖北省科研项目,湖北省武汉市科技攻关项目
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本文对液晶微棱镜阵列的设计与工艺的基本问题进行了讨论.针对TFT的优势,试制了激光晶化底栅结构的poly-Si TFT为构造核心的液晶微棱镜,对其工艺结构和液晶的光学性能进行了探讨.实验表明,尽管TFT液晶微棱镜工艺复杂,但具有一定的优点值得深入研究.
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