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明导国际宣布，由中国政府、上海联创投资管理有限公司、上海华虹（集团）有限公司、上海宏力半导体制造有限公司以及上海华虹NEC电子有限公司等合资成立的晶圆代工企业上海华力微电子有限公司采用了Calibre RET和OPC计算光刻平台，
上海华力采用明导Calibre RET方案进行65／45nm工艺的开发和生产
【摘 要】
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明导国际宣布，由中国政府、上海联创投资管理有限公司、上海华虹（集团）有限公司、上海宏力半导体制造有限公司以及上海华虹NEC电子有限公司等合资成立的晶圆代工企业上海华力微
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2011年4期
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