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在预处理基底上，采用化学溶液沉积法在低温下制备氧化锌纳米柱薄膜。通过X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）表征了氧化锌纳米柱的形貌和晶体结构。研究表明，控制制备过程中的工艺条件：氨水含量、烧结温度、沉积温度、ZnCl2浓度，可以达到优化氧化锌纳米柱的形貌和晶形取向的目的，最后得到单分散性、规整、高度取向的氧化锌纳米柱。并利用晶体生长理论和预处理基底的形貌表征等对反应机理、晶体取向进行讨论。