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激光角度干涉仪是高精度的角度测量仪器，但是其测量精度受到诸多因素的影响。本文讨论了激光角度干涉仪的一些误差来源并介绍了减小这些误差影响的方法。
激光角度干涉仪测量精度的几个影响因素
【摘 要】
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激光角度干涉仪是高精度的角度测量仪器，但是其测量精度受到诸多因素的影响。本文讨论了激光角度干涉仪的一些误差来源并介绍了减小这些误差影响的方法。
【机 构】
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成都工具研究所
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2008年5期
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