离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验

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研制了离化团束淀积装置。目前的实验结果,使用离化团束淀积技术在玻璃冷基底上镀制的ZnS膜MgF_2膜的机械牢固性较电子束在同样条件下制备的ZnS膜和MgF_2膜较强。用反应性离化团束技术制备的ZnO膜具有优良的取向结构。通过控制参数可以控制ZnO膜的结晶结构。
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