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报道了一种新型压电线性激励器,设计出它的结构,完成了器件制作.设计测试系统对其性能进行测试.器件的线性步进位移特性明显,具有步进模式和连续线性位移模式.行程可达几个厘米、位移分辨率为0.1 μm、运行速度可达0.6 mm/s.激励器结构简单,控制方便,适于研制闭环控制高精度定位系统.
一种新型高精度线性压电激励器的研制
【摘 要】
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报道了一种新型压电线性激励器,设计出它的结构,完成了器件制作.设计测试系统对其性能进行测试.器件的线性步进位移特性明显,具有步进模式和连续线性位移模式.行程可达几个厘
【机 构】
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上海交通大学微米／纳米科学技术研究院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2005年3期
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