一种微力测量系统的实现方法与实验验证

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介绍了一种微力测量系统的设计和制造方法。运用Maxwell对静电复现装置进行仿真分析,得出不同因素的影响大小并作为设计依据。对刀口进行了校核,验证了装置的理论可行性。基于电容数字转换器AD7747设计并制造出电容测量系统,在标定后进行了电容梯度测量实验。实验结果表明所设计的系统达到了设计预期。
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