【摘 要】
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采用脉冲激光沉积（PLD）技术在Si（100）衬底上生长了Nd∶YAG薄膜以及Nd∶Glass薄膜,利用扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）、傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）、光学掺量振荡器（OPO）以及光栅光谱
【机 构】
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四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（60890200）, NSAF基金项目（10976017）资助
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采用脉冲激光沉积（PLD）技术在Si（100）衬底上生长了Nd∶YAG薄膜以及Nd∶Glass薄膜,利用扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）、傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）、光学掺量振荡器（OPO）以及光栅光谱仪等测试装置分析了薄膜的表面和断面结构形貌、组成成分、光学吸收谱以及光致发光谱。结果表明：在室温衬底温度下生长的Nd∶YAG薄膜以及Nd∶Glass薄膜均呈无规则非定型结构,没有明显的取向性微晶生长;PLD生长的Nd∶YAG薄膜中存在0.15at.%化学计量比的Nd元素;Nd∶YAG块体靶材
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