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要保持有毒和有危险性气体用超净气体系统的可靠性在半导体制造业中，使用的气体处理系统可分为三类：自燃／可燃、腐蚀性／毒性和惰性。当系统中的杂质与工艺气体相结合时，常常会出现问题。自燃气体，如硅烷（ＳｉＨ４），当它暴露在室内空气中时，可以发生爆炸反应。它...
要保持有毒和有危险性气体用超净气体系统的可靠性
【摘 要】
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要保持有毒和有危险性气体用超净气体系统的可靠性在半导体制造业中，使用的气体处理系统可分为三类：自燃／可燃、腐蚀性／毒性和惰性。当系统中的杂质与工艺气体相结合时，常常会出现
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1997年4期
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