【摘 要】
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开发了激光切割用标准气、10-6级空分用标准气混配技术,建立了特种气体混配的数学特征方程,描述了混配前后组分气物理状态的变化。设计了高精度标准特种气体混配工艺路线,并开发了标准气体混配设备。利用设计的混配设备配制百分比级特气和10-6级特气,经分析,组分气体积浓度偏差符合设计要求,其中百分比级特气组分气体积浓度偏差不大于3%,10-6级特气体积浓度偏差不大于5%。
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开发了激光切割用标准气、10-6级空分用标准气混配技术,建立了特种气体混配的数学特征方程,描述了混配前后组分气物理状态的变化。设计了高精度标准特种气体混配工艺路线,并开发了标准气体混配设备。利用设计的混配设备配制百分比级特气和10-6级特气,经分析,组分气体积浓度偏差符合设计要求,其中百分比级特气组分气体积浓度偏差不大于3%,10-6级特气体积浓度偏差不大于5%。
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