【摘 要】
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提出一种新型基于微环谐振腔的集成光学加速度计，该加速度传感器具有较高的灵敏度（56．6mV／gn）和良好的抗冲击性能（可达10。g。）。介绍并分析了该加速度计的传感理论，建立了微环谐振腔
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术国防重点实验室
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提出一种新型基于微环谐振腔的集成光学加速度计，该加速度传感器具有较高的灵敏度（56．6mV／gn）和良好的抗冲击性能（可达10。g。）。介绍并分析了该加速度计的传感理论，建立了微环谐振腔耦合单元模型，通过Matlab软件和时域差分有限元（FDTD）法绘制了波导的模态传输曲线，优化了微环谐振腔的设计参数和微腔与波导的耦合间距，并且利用ANSYS给出了悬臂梁的承受冲击极限。最终，仿真结果与理论分析结果基本一致。该加速度计可为高灵敏抗冲击微光机电系统（MOEMS）传感器提供新思路和理论参考。
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