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新型高灵敏抗冲击集成光学加速度计
提出一种新型基于微环谐振腔的集成光学加速度计,该加速度传感器具有较高的灵敏度(56.6mV/gn)和良好的抗冲击性能(可达10。g。)。介绍并分......
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