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溶胶-凝胶工艺是一种很有前途的薄膜制备方法.简单介绍了薄膜的种类及制作方法.将溶胶-凝胶法与PVD法和CVD法等进行了比较,说明了其制膜的优点,如工艺简单、设备要求低以及适合于大面积制膜.具体介绍了用溶胶-凝胶法制膜的流程及应用,着重介绍了基片的清洗方法和薄膜的涂覆方法.
溶胶-凝胶法制备薄膜的研究进展
【摘 要】
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溶胶-凝胶工艺是一种很有前途的薄膜制备方法.简单介绍了薄膜的种类及制作方法.将溶胶-凝胶法与PVD法和CVD法等进行了比较,说明了其制膜的优点,如工艺简单、设备要求低以及适
【机 构】
：
华南理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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玻璃与搪瓷
【发表日期】
：
2004年6期
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