激光陀螺超高反射镜基片抛光工艺

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采用新型双层结构沥青抛光模和两种抛光粉(CeO2和Fe2O3)分步抛光工艺,在合理选择抛光工艺参数的条件下,实现了微晶玻璃激光陀螺反射镜基片的超精密抛光,表面粗糙度达到Ra<0.5nm、面型精度N=0.5、△N=0,1. A novel double-layer bitumen polishing mold and two kinds of polishing powders (CeO2 and Fe2O3) were used to finish the ultra-precision polishing of the glass-ceramic laser gyro mirror substrate under the reasonable choice of polishing process parameters. The surface Roughness Ra <0.5nm, surface accuracy N = 0.5, △ N = 0,1.
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