【摘 要】
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报道了用气态源分子束外延(GsMBE)技术生长的InAIAs／InGaAs四阱耦合量子级联激光器(QCL)材料的结构特性。X射线双晶回摆曲线谱测量结果表明所生长的QCL有源区的界面(含770层外
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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中国科学院重大基础项目和 973项目 (KY 95 1 B1 70 6,G2 0 0 0 0 683 0 4)
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报道了用气态源分子束外延(GsMBE)技术生长的InAIAs／InGaAs四阱耦合量子级联激光器(QCL)材料的结构特性。X射线双晶回摆曲线谱测量结果表明所生长的QCL有源区的界面(含770层外延层)、厚度达到单厚子层控制，组份波动≤1％，晶格失配≤1×10^-3。采用特殊的优化工艺，φ50mm外延片的表面缺路陷密度降至1×10cm^-2，达到了器件质量的要求。
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