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应用计算机辅助设计（CAD）方法模拟设计一种射频机械（RF－MEMS）开关，用Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和MEMS开关的等效电路模型，并应用ANSYS软件模拟开关的驱动电压，得到了35GHz工作频率的并联电容式MEMS开关一些有意义的理论分析结果。
射频微机械开关的计算机辅助设计
【摘 要】
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应用计算机辅助设计（CAD）方法模拟设计一种射频机械（RF－MEMS）开关，用Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和MEMS开关的等效电路模型，并应用ANSYS软件模拟开关的驱动电压，
【机 构】
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华东师范大学信息科学技术学院,中国科学院上海冶金研究所传感技术开放实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年9期
【基金项目】
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国家基础研究发展基金 (973 ) (No.G19990 3 3 10 -5 ),,国家杰出青年基金 (批准号 :6992 5 40 9),,上海市 AM基金 (No.0 0 0 4)资助项目~~
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