【摘 要】
：
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵。微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵。微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS（polymethylsiloxane）振动膜。电磁微泵样机的实验结果显示：该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar。
其他文献
目的：探讨重型颅脑损伤的临床观察及护理。方法：对我院2004年1月～2006年1月共收治的106例重型颅脑损伤患者给予严密．观察和精心护理。结果：本组106例中痊愈74例，好转9例，死亡18例．5例
以MoO3粉和S为原料，高温下在普通管式炉中化学气相反应制备合成了MoS2纳米管。结果显示制备合成的MoS2纳米管全是开口的，直径分布很均匀，有的纳米管上粘结有纳米粒子。研究了实
提出一种应用于 CMOS图像传感器的新型光电检测器件-双极型光栅晶体管,并建立了 其瞬态等效电路模型,利用电路模拟软件 HSPICE的多瞬态分析法对双极型光栅晶体管的光电 流特
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示，虚拟运行的基础是器件动态模型。首先分析了微泵的静态模型。以有限元分析数据为起点，获得了膜片静态模型。随后给出了阀片的静态模型
测试了 MESFET工艺条件下制作的霍尔片的基本性能.对设计出的 GaAs集成霍尔元件进 行了不等位电势的测试,采用霍尔元件并联和自旋电流的方法对 GaAs方形霍尔元件的不等位电