离子注入掺杂Cd_(0.2)Hg_(0.8)Te红外探测器

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光伏型探测器的优点在于功耗低,较易与电荷耦合器件(CCD)互连,而且有可能作为大型焦平面以及宽频带应用。除此之外,光伏型探测器要比光导型探测器有较高的探测度,光导器件只有在少数载流子扫出的情况下才能达到与光伏型器件相同的探测度。因此,制备碲镉汞的P-N结受到很大重视。公开报导的结果有汞和铟的扩散结,质子轰击和离子注入。使用成功的离子种类有汞、铝和硼。在这项研究中,我们尝试研究了多种元素的掺杂特性。因为研究了10种元素,故所得 Photovoltaic detectors have the advantages of low power consumption, easier interconnection with charge coupled devices (CCDs), and possibly large-scale focal plane and wideband applications. In addition, photovoltaic detectors have a higher degree of detection than photoconductive detectors, and photoconductive devices can achieve the same degree of detection as photovoltaic devices only with minority carrier sweeping. Therefore, the preparation of HgCdTe Hg P-N junction has received great attention. The results reported publicly include diffusion junctions of mercury and indium, proton bombardment and ion implantation. Successful use of ionic species are mercury, aluminum and boron. In this study, we tried to investigate the doping characteristics of various elements. Because I studied 10 kinds of elements, I got it
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