【摘 要】
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采用直流磁控共溅的方法在玻璃基底上制备了不同厚度的Al掺杂ZnO薄膜,并在真空和空气中分别退火.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对系列薄膜的结构和磁性进行了
【机 构】
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河北师范大学物理科学与信息工程学院; 河北省新型薄膜材料重点实验室; 河北民族师范学院物理系;
【基金项目】
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河北省自然科学基金(批准号:A2009000254);河北师范大学博士基金(批准号:L2006B10);河北省新型薄膜材料重点实验室开放课题;河北民族师范学院2010年度项目(批准号:201004)资助的课题~~
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采用直流磁控共溅的方法在玻璃基底上制备了不同厚度的Al掺杂ZnO薄膜,并在真空和空气中分别退火.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对系列薄膜的结构和磁性进行了表征.XRD结果显示:随着膜厚的增加,晶粒尺寸逐渐增大,薄膜的内应力逐渐减小.在空气退火的薄膜样品中观察到了室温的铁磁性,薄膜的饱和磁化强度Ms随着膜厚的增加而增大,而矫顽力Hc却随着膜厚的增加而减小.
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