【摘 要】
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讨论了低压微位移驱动电路及控制方法在光电轮廓仪上的运用。采用低压驱动电路驱动压电陶瓷相移器对参考光束进行相移,从而使仪器质量减轻、体积缩小、成本降低。在运用该电
【机 构】
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讨论了低压微位移驱动电路及控制方法在光电轮廓仪上的运用。采用低压驱动电路驱动压电陶瓷相移器对参考光束进行相移,从而使仪器质量减轻、体积缩小、成本降低。在运用该电路时,为了解决压电陶瓷低电压区非线性误差大的问题,用PC计算机控制压电陶瓷上所加电压的电压值,由摄像头摄取图像并计算出干涉条纹的间隔,然后由PC计算机修改压电陶瓷上所加的电压值,直至干涉条纹相位差达到要求值。该方法的优点是：可消除压电陶瓷低压区的非线性误差,使得开环电路得到闭环的效果;可降低机械零部件的装配难度。
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