GHz波段nH量级两种平面圆形螺旋电感性能比较

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以硅衬底螺旋电感(SIOS)的紧凑集总模型为基础,借助任意三维无源器件全波电磁(EM)场仿真器HFSS(High Frequency Structure Simulator),对差分对称圆形、普通平面圆形两种螺旋电感进行了对比研究.结果表明:品质因数(QF)和3dB带宽(BW)前者明显优于后者,电感值L后者明显优于后者,自激振荡频率(SRF)两者基本相当.采用文中参数,前者较后者QF提高146.1%,SRF提高31.9%,但后者L值能达到前者3倍以上.模拟结果与理论分析相吻合.
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