【摘 要】
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本文介绍了高温超导薄膜的最新进展。从超导电子学器件制备工艺的角度强调了薄膜均匀性和平整度、薄膜对平面工艺过程的适应能力以及薄膜衬底的选择等问题的重要性。侧重介绍
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本文介绍了高温超导薄膜的最新进展。从超导电子学器件制备工艺的角度强调了薄膜均匀性和平整度、薄膜对平面工艺过程的适应能力以及薄膜衬底的选择等问题的重要性。侧重介绍了制备超导薄膜的各种实验技术的基本实验条件、方法和结果。
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