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为了提高臭氧发生器高频高压逆变电源的动态性和鲁棒性,在电源主电路放电模态分析的基础上,设计了一款基于μ分析综合法的H∞控制器。通过分析H∞控制下移相电源的调节特性,给出了理论推导和仿真、实验操作结果。结果表明,采用μ分析法的H∞控制臭氧发生器电源不仅能够实现系统的稳定性与跟随性,而且能够克服参数摄动和负载扰动对系统造成的不良影响,因此有利于工程实际的借鉴使用。