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该发明涉及涡轮分子泵叶片表面处理技术领域，特别是一种耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法，包括如下步骤：（1）等离子体清洗：将叶片放入等离子体处理装置的真空腔体内并抽真空，通入Ar，加射频，进行等离子体清洗；（2）等离子体氧化或氮化：
耐磨涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法
【摘 要】
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该发明涉及涡轮分子泵叶片表面处理技术领域，特别是一种耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法，包括如下步骤：（1）等离子体清洗：将叶片放入等离子体处理装置的真空腔体内并抽真空，通
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2010年1期
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