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为了研究Al涂层对Ni基合金高温氧化性能及氧化机理的影响，采用磁控溅射方法在Ni基合金表面制备了Al涂层，在600℃下对涂层进行了真空扩散退火和预氧化处理，并研究了涂层在1100℃下的高温氧化性能．利用扫描电子显微镜和能谱仪分析了氧化膜的截面形貌及组成．结果表明，Ni基合金氧化动力学曲线近似服从抛物线规律，且合金的氧化增重最大．经过1100℃高温氧化后，Ni基合金表面形成三层氧化膜，外层为NiO、Cr2O3、Al2O3的混合氧化物和少量尖晶石氧化物，中间层主要为Ni的氧化物，内层为Al2O3．Al涂层试样