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近期，索尼推出了一款名为Chicon的连续波激光器，能在高功率下保持高光束质量和稳定性。通过精确控制BBO晶体，Chicon激光器能产生266nm的极紫外光，可选功率分别为500mW、700mW或1W，可用于检测系统、拉曼光谱仪、刻蚀术及其他方向。
索尼推出极紫外瓦级激光器
【摘 要】
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近期，索尼推出了一款名为Chicon的连续波激光器，能在高功率下保持高光束质量和稳定性。通过精确控制BBO晶体，Chicon激光器能产生266nm的极紫外光，可选功率分别为500mW、700mW或1W
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2009年3期
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